多晶硅铸锭硬质杂质控制方法探索

摘要

设计了可实现区域强化打磨处理的自动回炉料打磨设备，强烈推荐强制对流辅助生长多晶技术，开发了改进型氮化硅涂层粘合剂和强化氮化硅涂层技术。