一种基于现场的便携式真空计校准装置

摘要

在原有基础上研制出一种基于现场的便携式真空计校准装置.将静态比较法、静态膨胀法及动态流量法复合在一台装置上,仅采用一台满量程为1.33×105Pa的电容薄膜真空计作为参考标准,实现较宽真空度的校准范围.实验结果表明,装置的校准范围为105～104Pa,合成标准不确定度为1.3％～2.5％.装置的外形尺寸为450mm×400mm×750mm,总重量小于35公斤,在原有校准装置的基础上减小了重量和成本,更适用于许多应用领域中真空计的现场校准.