微细电加工增效关键技术研究

摘要

微细电加工技术已成为解决介观尺寸范围内的导电材料的精密加工问题的重要工艺手段.但该技术目前的综合加工效率较低,使其难以满足当前大量微细加工的高效需求,主要原因包括:电极损耗快导致其需要反复修整、脉冲能量需要与加工精度和表面质量匹配导致脉冲能量受限.对此,文中从微细电加工技术的多个关键单元入手,提出了多项关键技术:1)在同一台设备中并行实现微细电极在位修整与零件加工的多工位机械设计与运动控制技术;2)多路并联互补驱动的高频微能脉冲输出与控制技术;3)加工模式、加工范围可灵活调整的线电极在位磨削技术;4)多功能复合电加工主轴精密机械设计技术;5)微小特征的在位精密测量与微细加工过程的在位实时显微监视技术;6)在同一台设备中有机集成了微细电火花、微细电解、超声振动等多种工艺方式.通过上述关键技术的研究,可使现有的微细电加工效率具有较明显的提升.