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周宇; 高联群; 汤世平; 张宝岭;
中国自动化学会;
可编程控制器; CAD; 数据库; 标准化设计;
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机译:在CVD设备设计中使用掺杂剂激活注入的晶圆进行低温(400 / spl deg / C-600 / spl deg / C)测量
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