激光器镜面低剩余反射率镀膜

摘要

该文分析了影响激光器镜面低剩余反射率镀膜的原因。用常规的镀膜理论所计算的低反射率膜层的条件在实际应用中没能达到预期的效果，主要原因是：1．镀膜基底折射率不是单一的InP的折射率；2.激光器的输出为非平面光波，需用角谱分析法优化镀膜条件；3.材料的选择和工艺的控制。综合上述因素研究人员重新计算了低反射率膜层的条件并应用于发光管镀膜，使输出功率提高了44.5℅，该方法将应用于半导体光放大器和光纤光栅激光器等的低剩余反射率镜面镀膜研制。