超大规模集成电路技术的现状及其未来发展所面临的挑战

摘要

世界集成电路（ＩＣ）工业的产值，３９年间成长了１２个数量级，预计今年将达到１４×１０〈’１１〉元（人民币）。这种规模的高速持续增长，在人类技术史上是空前的。今后，已经进入纳米加工水准的ＵＬＳＩ是否仍可保持过去３０年的成长速度？其所面临的主要挑战是什么？该文根据美国半导体工业协会所提出的六个方面对ＵＬＳＩ技术的挑战性及其在２１世纪初的发展趋势进行讨论。