基于MEMS技术的微继电器及MOS霍尔阵列传感器探讨

摘要

利用微加工技术将微机构和电子线路集成到一枚硅片上形成的所谓微机电系统（MEMS：Micro Electro Mechanical System），由于它在航天，军工，家用电器及电子仪器等方面的巨大应用前景，自八十年代后期问世以来，受到了美，日，欧等发达国家政府的高度重视和大力扶持，许多有影响的大专院校，研究机关纷纷投入到MEMS的研究开发中．到目前，这种努力已开始见效，以微型压力，微型加速度传感果和部分光开关的商品化为标志，预示着二十一世纪MEMS的光明前景。近年，在政府的支持下国内的许多院校，科研单位，科研单位陆续开展起了MEMS的研究，并取得了一些初步的成果。在我们这样一个起步晚，投入相对不足的国家，如何使MEMS的研究顺利进展？如何使它尽快地为国家的经济建设服务？ 我们认为在开展MEMS研究方面，应借鉴国外的经验教训，结合国情，利用自已在MEMS研究中心所累的经验和技术，看准一些技术难度适度或较简单而又有广泛应用前景的项目，集中人力的物力联合攻关尽快使其形成产品。只有对国家经济建设有贡献，获得社会的认同，才是MEMS研究的目的所在，才是MEMS研究良性发展的关键。在我们以往研究工作的基础上，该文拟探讨以下两个易于实用化的研究课题。一个是微型电磁继电器，另一个是MOS霍尔阵列式传感器。该文在简单回顾了MEMS技术的发展过程后，就所提案的微型电磁继电器和MOS霍尔阵列式传器感的工作原理，制造工艺和应用前景作比较详细的叙述和探讨。