光学接触式微型三维测量系统

摘要

该文介绍一种集光学方法的高精度和快速性及机械接触方法的可靠性和不受材料特性影响的单一性优点于一体的光学接触式微型三维测量系统，用于测量“亚宏观”微小型工件（百微米至几个毫米尺度范围）的尺寸和形状。该系统测头直径为４０μｍ至１００μｍ，测量精度小于１μｍ，测量力小于１０μＮ。并首次给出此系统对直径２１４μｍ微小孔尺寸和形状的测量结果。