用于准分子激光微细加工的高能量效率多重反射光学系统和装置的实验研究

摘要

该文介绍了作者研制的准分子激光微细加工系统。通过选用成象光学系统改进了传统的消融、刻蚀方案；具有能量效率高，单脉冲加工面积大的优点，并实现了相当好的微加工结果。