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任兆杏; 邬钦崇; 梁荣庆;
中国真空学会;
中国电子学会;
中国光学学会;
中国物理学会;
中国机械工程学会;
中国仪器仪表学会;
中国材料研究会;
微波; ECR; 等离子体; 薄膜;
机译:通过微波排放在超越ECR区域的狭窄同轴腔中的微波排出形成等离子体环
机译:在ECR相互作用区域外的窄同轴谐振器中形成微波排放的等离子体环
机译:宽带微波发射谱与最小-B ECR等离子体中的动力学稳定性相关联
机译:超铁素体不锈钢在射频和ECR微波等离子体系统中的等离子体浸没离子植入氮化
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:微波等离子体火炬质谱的微波内源衰减法快速测定固体药物中的成分
机译:通过微波诱导等离子体光学发射通过电磁感应加热技术同时测定用于同时测定无机元素(Ba,Ca,Cd,Cu,Fe,Mg,Mn,Na,Pb,Sr,Zn),通过微波诱导等离子体光发射在生物材料的生物材料浆液中光谱法(MIP-OES)
机译:微波图像线集成电路在X波段及以上辐射计和其他微波器件中的应用研究
机译:ECR方法和装置,用于在电子回旋共振ECR域中产生微波能量激发的等离子体,以进行表面处理或在丝状元件周围进行涂层
机译:微波电子回旋加速器电子共振(ECR)离子源,具有大,均匀分布,轴向对称的ECR等离子体体积
机译:耦合微波ECR和射频等离子体源进行等离子体处理
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