一种高灵敏度微波功率传感器的新结构设计

摘要

该文提出一种半导体热偶微波功率传感器的新的微结构设计方案。解决原有设计器件存在的问题，以获得更高的灵敏度。对该新结构进行理论分析，有限元计算，取理了理想的结论。