应用于半导体化学机械研磨之纳米级超微细二氧化铈粉末新制程技术

摘要

该研究已发明利用粉体覆盖管表面(Powder on Template Surface; POTS)方法制备纳米超微细二氧化铈研磨粉末。其已应用于半导体化学机械研究制程之聚亚芳香醚(Polyarylene ether; PAEL; Flare<'TM> 2.0)高分子介电材料之研磨液，可有效地增加聚亚芳香醚介电材料之化学机械研究速度。