两种氮化硅材料的研制与比较

摘要

以性能相近的α和β两种Si<,3>N<,4>粉体为原料，采用相似的工艺方法制备Si<,3>N<,4>材料。研究发现，在相同的热压条件下，α-Si<,3>N<,4>和β-Si<,3>N<,4>原料均可制备致密度较高的Si<,3>N<,4>材料，但α粉原料制得的材料致密度更高；α粉制备Si<,3>N<,4>材料的过程中发生了α→β相变，相变形成的β-Si<,3>N<,4>晶粒为柱状晶粒，而用β粉原料制备的材料中β-Si<,3>N<,4>晶体为等轴状晶粒；α粉制备的Si<,3>N<,4>材料力学性能优于β粉制备Si<,3>N<,4>材料。