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激光能量对碲镉汞注入样品退火效果的影响

摘要

利用脉冲YAG激光器对砷注入长波碲镉汞样品进行激光退火,分析不同能量密度的激 光光束退火所引起的样品表面电学性质的变化。实验表明,激光能量密度越大,激光退火的效果越明显。研究人员们认为要达到理想退火效果,样品表面一薄层需处于近熔化状态,以得到晶格结构的重新组织。

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