LED外延片激光扫描荧光光谱检测仪

摘要

该文介绍了一种智能化激光扫描荧光光谱检测仪，可对光致荧光样品进行扫描分析，从而获得需要的整体信息，介绍了仪器对LED外延片进行在线无损检测的应用。该仪器可迅速对LED外延片进行在线检测，给出相关参数。实现智能化检测。