离子束辅助脉冲激光淀积(IBA-PLD)法进行ZnO薄膜外延生长研究。X射线衍射(XRD)结果表明,有低能O<'+>离子束辅助淀积,利用波长为532nm的Nd:YAG固体脉冲激光,在P-Si(111)衬底上,也能生长出C-轴单一取向的高质量ZnO薄膜;190℃生长的样品结晶质量最好,X射线摇摆曲线(XRC)的ZnO(002)峰高宽(FWHM)为2.918°,其X射线光电子能谱('/>
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杨少延; 柴春林; 刘志凯; 廖梅勇;
中国电子学会;
离子束辅助脉冲; 激光淀积; XRC; FWHM; XPS;
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