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纳米硅薄膜场发射效应的传感技术应用进展

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通过对场发射压力传感器各种结构形式和研究进展的综合和比较,阐明了半导体场致电子发射效应的高技术应用途径;传感技术中纳米硅薄膜的引入,在理论和实践上都有着重要的意义.

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来源
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》|2000年|383-387|共5页
会议地点上海
作者
林鸿溢;
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作者单位

上海交通大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.055;
关键词
场发射; 压力传感器; 纳米硅薄膜; 电子发射效应;

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