PbO气氛对ITO薄膜电极导电性能的影响研究

摘要

本文介绍了在有PbO和无PbO气氛中分别对沉积在玻璃和硅基片上的ITO薄膜电极进行不同温度热处理,ITO薄膜电极的导电性能所受的影响。