首页> 中文会议>第五届全国微米/纳米技术学术会议 >微系统中PZT铁电薄膜的制备

微系统中PZT铁电薄膜的制备

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

PZT(Pb(Zr<,x>Ti<,1-x>)O<,3>)作为一种性能优异的功能材料,被广泛应用于微系统中的微型传感器和微型驱动器.本文综述了适用于微系统技术中的PZT铁电薄膜的制备方法,介绍了国内外PZT铁电薄膜制备的最新进展,并对微系统技术中各种PZT铁电薄膜的制备技术进行了评价.

著录项

来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|82-85|共4页
会议地点重庆
作者
鲁健; 褚家如; 黄文浩;
展开▼
作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;
关键词
PZT; 铁电薄膜; 微系统; 微机械电子系统; 磁控溅射法; 脉冲激光刻蚀法;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. SOL-GEL方法制备PZT铁电薄膜新方法及铁电特性研究 [J] . 颜雷 ,汤庭鳌 ,黄维宁 . 材料科学与工程学报 . 2000,第0z2期
2. 溶胶凝胶反提拉法制备PZT铁电薄膜及La^(3+),Ca^(2+)离子混合掺杂对薄膜结构和性能的影响 [J] . 陈祝 ,张树人 ,杨成韬 . 硅酸盐学报 . 2005,第6期
3. 快速热处理中退火温度对Sol-gel法制备PZT铁电薄膜性能的影响 [J] . 胡绍璐 ,赵海臣 ,李林华 . 信息通信 . 2014,第003期
4. 单晶PMnN-PZT铁电薄膜制备与表征 [J] . 张涛 ,马宏伟 ,张淑仪 . 功能材料 . 2012,第011期
5. 硅基三元系PMnN—PZT铁电薄膜制备与研究 [J] . 张涛 ,张淑仪 ,李敏 . 功能材料 . 2012,第013期
6. SOL-GEL方法制备PZT铁电薄膜新方法及铁电特性研究 [C] . 颜雷 ,汤庭鳌 ,黄维宁 . 第二届海内外中华青年学者材料科学技术研讨会暨第七届全国青年材料科学研讨会 . 2000
7. 基于金属/反铁电PZT薄膜/氧化铝/硅结构的反铁电存储器的制备及性能研究 [A] . 翁旭东 . 2010

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号