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C波段T/R模块微波混合集成工艺制造

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固态相控阵雷达是世界军、民用雷达的发展方向,T/R模块是固态相控阵雷达的关键子系统,不仅包含了单片微波集成(MMIC)技术和微波混合集成(MHIC)技术,还涉及了材料科学、热设计技术、电磁兼容和环境可靠性技术等,是基础科学综合性很强的微电子尖端技术.论述了C波段T/R模块微波混合集成工艺过程和关键工艺攻关.

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来源
《中国电子学会现代设计与先进制造技术学术会议》|2001年|184-185|共2页
会议地点杭州
作者
钟文腾; 张家琴; 吴运霞; 何长奉;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类计算机集成制造;雷达;
关键词
T/R模块; 微波混合集成; 工艺制造;

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