准分子激光精密加工陶瓷、玻璃等硬脆材料的研究

摘要

采用波长248nm的KrF准分子激光器,对Al<,2>O<,3>陶瓷片及玻璃片的精密加工进行了研究,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律.同时研究了激光工艺参数对材料表面粗糙度的影响,并且对加工后工件的表面形貌进行了分析.