退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
康西巧; 陈旭南; 石建平; 罗先刚;
中国电子学会;
模拟退火算法; 投影成像光刻; 光瞳滤波; 优化滤波器;
机译:在光学微光刻中通过光瞳平面滤波模拟相干多重成像
机译:椭圆偏振照明下使用磁光透镜的偏振光瞳滤波器的仿真
机译:通过基于图像的方法测量EUV光刻光瞳振幅和相位变化
机译:用于EUV光刻的环形场投影相机设计的新进展:被动光瞳校正
机译:光学成像系统的广义光瞳像差
机译:通过圆对称光瞳工程实现快速3D成像的光学体积投影
机译:在光学微光刻中通过光瞳面滤波模拟相干多重成像
机译:新型光刻法:高度集成电路金属化的投影法
机译:用于光刻投影曝光系统的照明光学单元,如果在将小平面定位在光瞳区域和边缘区域之外的过程中强度等于零,则将光瞳小平面施加实际的照明强度
机译:用于投影曝光系统的照明光学单元,具有光瞳刻面镜,该光瞳刻面镜被设置为使得内部组中的光瞳刻面的数量被设置为与外部组中的光瞳刻面的数量不同。
机译:光学系统,即用于微光刻的投影透镜,成像特性改善方法,包括在光学系统的光瞳水平附近布置光学校正装置。
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。