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环形固体背散射探测器的最佳检测距离

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本文主要讨论了扫描电镜中常用的环形固体背散射探测器的工作原理,并根据其探测器的几何尺寸,计算出最大的接收立体角,得出最佳的工作距离.使操作人员能够在一定参数和最佳的工作距离下得到一幅最清晰的背散射图像.

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来源
《中国电子学会可靠性分会第十一届学术年会》|2002年|184-187|共4页
会议地点银川
作者
施明哲; 马鑫;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电子光学仪器;电波传播、传播机理;
关键词
扫描电镜; 背散射电子; 探测器; 立体角; 工作距离; 图像;

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