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功能陶瓷表面电泳抛光的实验研究

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本文介绍了电泳抛光技术在功能陶瓷表面加工中的应用,并在自行改装的电泳抛光机上对半导体硅板进行了抛光试验,获得了电压、抛光间隙、抛光时间对抛光效率的影响规律,为电泳抛光技术的深入应用奠定了基础.

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来源
《第七届全国摩擦学大会》|2002年|476-478|共3页
会议地点兰州
作者
江亲瑜; 张继和;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类表面处理;
关键词
电泳抛光; 半导体硅板; 抛光效率; 功能陶瓷; 表面加工;

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