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MEMS系统级建模与仿真的研究进展

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系统级建模与仿真是MEMS设计的独特要求,具有重要的理论意义和实际应用前景.文章介绍了MEMS系统级建模与仿真的几种方法和最新研究进展;指出了各种方法存在的问题,提出可能解决问题的途径.

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来源
《2002年中国机械工程学会年会》|2002年|265-269|共5页
会议地点北京
作者
孙道恒; 马海阳; 李文望;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类计算机仿真;
关键词
系统级仿真; 微机电系统; 系统级建模; CAD;

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