纳米锆钛酸铅铁电薄膜的制备

摘要

以醋酸铅(Pb(CH3COO)2),锆酸丁脂(Zr(C4H9O)4)和钛酸丁脂((C4H9O)4Ti)为前驱物,配制了稳定透明的前体溶胶.利用溶胶-凝胶技术制备了纳米锆钛酸铅(Pb(ZrxTi1-x)O3)铁电薄膜.研究了这种薄膜的组织结构和热处理工艺的关系.结果表明,经680℃30分钟热处理,可获得钙钛矿结构的(Pb(ZrxTi1-x)O3);X光射线谱表明:在ITO衬底上的这种薄膜以(110)为主要结晶取向,透射电子显微镜观察表明这种薄膜的晶粒尺寸大约23nm,并且具有明显的电滞回线.