微波等离子体化学法合成TiN纳米粉体材料研究

摘要

利用TiCl<,4>(蒸汽)+N<,2>+H<,2>气相反应体系,采用微波等离子体加强气相化学反应法制备出了TiN纳米粉体材料.利用XRD、TEM、BET以及激光粒度分析等研究分析了粉体的物相、形貌、比表面积、粒径等性质.结果表明用微波等离子体化学法,在微波输出功率为4KW,常压条件下可获得外观为黑色的TiN纳米粉体材料,其平均粒径在20-40nm之间,比表面积在30-60m<'2>/g之间.