火焰CVD法制备SiO<,2>纳米颗粒材料的实验与理论研究

摘要

本文以SiCl<,4>为原料,以工业丙烷为燃料的火焰CVD工艺过程,实验研究了纳米SiO<,2>颗粒的制备技术与过程.制备了无定型的球形纳米SiO<,2>颗粒材料.