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用四极质谱计定性分析残气成分的变化

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在真空系统中的残气一般是混合物.因此气体成分的变化比单个化合物的变化复杂得多.本文结合实例,用四极质谱计进行残气变化的定性分析.

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来源
《中国真空学会质谱与检漏专委会第十一届年会.中国计量测试学会真空校准专委会市第六届年会》|2002年|9-9|共1页
会议地点桂林
作者
张兆祥; 张耿民; 赵兴钰; 张浩; 薛增泉;
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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空质谱仪;真空技术基础理论;
关键词
四极质谱计; 真空系统; 残气定性分析;

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