新型超硬薄膜材料——氮化碳(CN<,x>)

摘要

介绍了一种新型超硬薄膜材料-氮化碳(CN<,x>)的组成和结构,并对其主要的力学性能.光学性能及应用进行了概述,并综述了氮化碳的反应溅射,化学气相沉积,离子注入,高压合成,激光烧蚀等制备工艺方法.