液相外延YBCO膜中氧扩散

摘要

液相外延(LPE)的沉积速率是通常气(汽)沉积速率的100－100倍，它是在近于热力学平衡条件下生长外延膜，LPE膜有较好的晶体完整性，LPE是薄膜和厚膜的重要制备方法.LPE原则上是很适合用于第二代超导导体(YBCO涂层导体)所需的厚膜的快速和连续制备，初步研究显示了其在涂层导体制备应用上的潜力.本文采用原位等温电阻弛豫法探索了液相外延YBCO膜中氧扩散行为,得到氧化学扩散激活能E～1.1eV.