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用于纳米光电子器件加工的纳米金属膜的制作

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在利用Top-Down方式加工纳米电子器件和纳米光电子器件的研究中,纳米薄膜的制作和加工技术是一个关键环节.采用金属Ti-SOS结构的纳米器件,Ti膜的厚度和成膜质量成为影响基于AFM针尖诱导氧化加工Ti纳米氧化线/电路图形结构质量的重要因素.文中叙述了Ti膜的制备和检测方法,给出了纳米Ti膜的制备和在一定环境下对其进行氧化加工的结果.

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来源
《中国仪器仪表学会第五届青年学术会议》|2003年|563-565|共3页
会议地点天津
作者
王战; 刘庆纲; 匡登峰; 米文博; 白海力; 胡小唐;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;光电器件、光电管;
关键词
纳米器件; Ti膜; 纳米金属膜; 原子力显微镜; 制备方法;

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