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混频式环振压力传感器

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为了解决传感器的数字化,提出了一种新的环振式数字压力传感器,它采用做在硅梁上的MOS环形振荡器作为敏感元件,采用混频器作为片内的信号处理单元,实现环形振荡器的频率相减.该传感器的输出量为频率信号,具有准数字输出、灵敏度高、温度系数低以及制作工艺简单等特点.样品的灵敏度为1.52kHz/kPa.

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来源
《第七届"测量与控制在资源节约、环境保护中的应用"学术会议》|2003年|210-211|共2页
会议地点沈阳
作者
张兆华; 岳瑞峰; 刘理天;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
压力传感器; 环形振荡器; 混频器;

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专利

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