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粗光栅位移测量系统精度与跟踪速度分析

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本文从MOS图像传感器构成的粗线纹光栅位移测量系统的原理出发,对光栅测量系统的精度和跟踪速度这两个最重要的问题进行了理论分析.指出了限制系统精度与跟踪速度的因素,讨论了传感头加速度对系统精度的影响,为进一步研制高精度、高跟踪速度的粗光栅测量系统打下了基础.

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来源
《2004全国图像传感器技术学术交流会》|2004年|152-155|共4页
会议地点重庆
作者
王荣秀; 重庆工商大学; 袁祥辉;
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作者单位

中国光学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.9;
关键词
图像传感器; 粗线纹光栅; 动态位移测量; 相位调制; 位移测量系统; 测量精度; 跟踪速度;

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