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扫描电镜的试样制备方法及应用

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扫描电镜的试样制备是一个非常重要的老问题,特别是场发射扫描电镜观察过程中的非导电试样的制备方法,制备方法不正确就会出现一些假象.本文主要讨论了与SEM图像质量相关的因素,举例说明了选择最佳条件在无机非金属材料研究中的应用.

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来源
《第十三届全国电子显微学会议》|2004年|514-514|共1页
会议地点威海
作者
李香庭; 曾毅; 钱伟君; 高建华;
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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电子光学仪器;
关键词
扫描电镜; 制备方法; 试样制备;

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