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微机械薄膜热膨胀系数的测试结构

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在微电子机械系统(MEMS)领域,薄膜的热膨胀系数对于微电子器件、MEMS器件,尤其是微热执行器的设计是一个十分重要的参数.本文详细介绍和分析了薄膜热膨胀系数的几种测试结构,对于微机械薄膜热膨胀系数在线测试结构的设计有一定的参考价值.

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来源
《全国第二届DSP应用技术学术会议》|2004年|387-390393|共5页
会议地点北京
作者
张宇星; 黄庆安; 李伟华;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.07;
关键词
热膨胀系数; 薄膜; 微电子机械系统; 测试结构;

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