直流磁控溅射制备两英寸YBCO双面超导薄膜

摘要

报告了以直流磁控溅射方法在两英寸LaAlO3基片上制备YBCO双面超导薄膜的Tc、Jc和Rs特性.获得的双面YBCO薄膜的厚度大于300nm.研究了双面薄膜的Jc及Tc均匀性,及工艺参数对其影响.结果表明适当降低基片温度、提高Ar/O2混合气体中O2分压可以提高Jc均值,改善均匀性.最高Jc均值可达3.08MA/cm2,且分布均匀.获得了Tc均值大于90K的均匀分布.Rs对两次成膜的工艺参数比较敏感。