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单晶硅纳米薄膜面向热导率尺寸效应的理论分析

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根据Boltzmann输运理论分析了单晶硅纳米薄膜的面向热导率.热导率的尺寸效应可归结为薄膜中边界散射引起的声子弛豫时间的减小.选用Holland模型给出的单晶硅热导率理论公式,结合薄膜中面向传输声子缩减的弛豫时间,得到薄膜面向热导率的理论计算式.薄膜热导率的理论计算揭示,单晶硅纳米薄膜面向热导率具有明显的尺寸效应,并且随厚度减小而减小,其变化规律与MD模拟结果相一致.

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来源
《中国工程热物理学会2004年传热传质学学术会议》|2004年|594-598|共5页
会议地点吉林
作者
肖鹏; 李志信;
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作者单位

中国工程热物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜物理学;
关键词
热导率; 纳米薄膜; 声子; 弛豫时间; 尺寸效应;

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