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氧分压对ZnO薄膜温差电动势的影响

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摘要

研究了氧分压对ZnO薄膜温差电动势的影响.用直流反应磁控溅射方法成功地制备了C轴取向性能良好的ZnO薄膜.实验研究发现,温差电动势和磁温差电动势随温度的变化呈线形关系.氧分压越大,温差电动势率越小.研究结果还表明,磁温差电动势比温差电动势小.

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来源
《海峡两岸第二届工程材料研讨会》|2004年|93-95|共3页
会议地点重庆
作者
李丽; 王万录; 张瑞俭; 杨丰帆; 曹春兰; 张津;
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作者单位

中国机械工程学会;

中国汽车工程学会;

中国金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类温差电器件;
关键词
ZnO薄膜; 温差电动势; 磁温差电动势; PVD; 温差电动势率;

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