溶胶-凝胶提拉法制备光导型日盲区紫外探测器

摘要

利用溶胶凝胶法制备了Ga<,2>O<,3>和In<,x>Ga<,2-x>O<,3>薄膜,对其晶体结构、光探测性能等进行了研究,并制作了1个基于上述氧化镓薄膜的光导型紫外探测器.实验结果表明,Ga<,2>O<,3>是很好的光导型日盲紫外探测材料之一.