微系统动力学研究的一些新进展

摘要

简要总结近年来在微系统力学研究方面的主要进展,包括:(1)表面力(van der Waals(vdW)力、静电力、Casimir力、毛细力等)在MEMS/NEMS中的作用,如对吸合(pull-in)、动力学行为的影响;(2)在MEMS粘着接触失效、抗粘着方面的研究进展,包括:力学模型、自组装单分子膜(SAMs)在抗粘着方面的应用、生物粘着的模型建立和分子动力学模拟等;(3)若干MEMS器件中的力学问题;(4)纳/微系统中的稳定性分析等.