用衍射效率的光谱分布判断多层介质膜光栅掩膜形貌

摘要

本文提出了一种用衍射效率的特征谱线来判断光栅的形貌的方法。用C方法编写了计算光栅衍射效率的程序，并且借助扫描电子显微镜的照片拟合的结果作为输入参数，计算了光栅衍射效率在不通曝光时间下的光谱分布曲线，并且用此作为判断光栅形貌的判据，得到了很好的结果。