大口径碳化硅平面反射镜的数控研磨与在线检测

摘要

本文介绍了480mmⅹ280mm 的船形碳化硅平面反射镜数控研磨的工艺参数的确定和工艺流程；并介绍了在研磨过程中的使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。给出了研磨前后480mmⅹ280mm 的船形碳化硅平面反射镜面形精度和表面粗糙度的检测结果：面形精度峰谷值（PV）由初始的21.7 微米收敛到4.62 微米，均方根值（RMS）由3.70微米收敛到0.558 微米，并把轮廓检测结果与干涉检测结果进行了比较。