电热型二维转动MEMS微反射镜研究

摘要

本文介绍一种二维转动的MEMS微镜器件的电气结构和工作原理，该器件由硅-二氧化硅-铝（钛）组成的电热执行器驱动，其加工工艺与CMOS工艺技术兼容。器件的结构特点与非均匀温度分布使得已有的双压电晶体效应悬梁解析表达式不再适用，而且适于该微反射镜结构和工作特点的解析式会很复杂。鉴于此，本文暂时避开上述障碍，利用有限元工具进行数值模拟，然后结合实验结果进行分析，以指导后续研究。