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孙涛; 赵学森; 闫永达; 董申;
中国机械工程学会;
圆度误差; 纳米级测量; MEMS器件; 扫描探针显微镜; 测量传感器; 原子力测头;
机译:PolyMUMPs MEMS器件,用于测量水性介质中单细胞的机械刚度PolyMUMPs MEMS器件,用于测量水性介质中单细胞的机械刚度
机译:使用误差分离技术测量主轴的圆度和旋转误差运动的多探头系统设计
机译:圆度偏差的测量误差分析,该误差是由于在固定棱镜的固定支撑点上与切线相切而测得的物体形状轮廓的半径不垂直而导致的
机译:数控机床圆度误差测量与分离方法研究
机译:设计,制造和测试用于RF MEMS器件的保形,局部晶圆级封装。
机译:溅射封装作为可隔离MEMS器件的晶圆级封装:电容式加速度计上展示的一项技术
机译:测量CNC立式加工中心的定位,圆度和静态误差,以验证加工精度
机译:使用静压球形中心研磨和测量长轴与一个微英寸的圆度误差
机译:消除仪器的测量偏心率误差并减少使用此程序获得的刻度和刻度圆的误差的仪器执行圆的步骤
机译:旋转轴中心的平行度误差和测量圆度的直线度轴中心的误差的测量方法
机译:方便测量对象的内径,误差率,圆度和方度的内径测量装置
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