红外焦平面杜瓦排气残余气体分析实验研究

摘要

本文对红外焦平面杜瓦排气残余气体进行了分析实验。文章介绍了实验的原理、装置、方法、数据和干扰因素,对影响杜瓦真空度的主要气体成分进行了初步研究,提出了改进杜瓦排气工艺的可能方向,对工艺处理具有实际意义。