精密激光刻蚀技术在多元金属杜瓦中的应用

摘要

本文采用激光刻蚀金属薄膜技术实现工程化微型杜瓦的引出线制备技术,既保证了最大限度控制引线传热,又具有结构简单的优点.文章介绍了一种通过采用波长较短的激光光束、配以三轴精密控制系统,优选激光脉冲能量,实现了玻璃内管外圆面的三维激光刻蚀引线成型的方法.