LD-双PSD-平面反射镜同轴度测量技术研究

摘要

本文介绍了LD-双PSD同轴度测量仪的结构:半导体激光准直光源(LD)和光斑位置传感器B(PSD-B)固定在从动轴上,PSD-A和半反射镜固定在主动轴上.并根据该结构建立了测量过程的数学模型,讨论了所存在的主要系统误差以及为消除系统误差的影响所应采取的措施.结论:若激光器不存在安装倾斜误差,PSD传感器也不存在安装平移误差,则在任意一个转角位置进行测量可得到4个同轴度偏差参数,否则要在任意两个转角位置进行测量方能消除激光器和PSD传感器的安装误差对测量结果的影响.