浅析半导体晶元代工厂的特气供应系统

摘要

本文对特种气体在半导体晶元代工厂的应用及气体的不同特性进行了分类和讨论,对特种气体在晶元厂的主要供应流程及其要点进行了较具体阐述,并对在晶元厂有着重要作用的关键管件及设计要点进行了探讨,以便读者对整个特种气体供应系统在晶元代工厂的储存、输送与控制等有较为清楚的了解。