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四探针Mapping自动测试仪中电阻率温度系数的规范化拟合多项式的应用

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本文回顾了单晶硅及扩散硅的电阻率温度系数(TCR)的实验结果,认为美国ASTM的TCR曲线是比较完整,确切的.利用规范化多项式拟合方法,可将它表示成五阶多项式.将它存入具图像识别四探针定位功能自动测试系统的计算机中后,可以立即得到折合到23℃的硅单晶断面的电阻率分布.本文阐述了规范化拟合的原理,给出了单晶硅的TCR的拟合结果.

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来源
《第九届全国敏感元件与传感器学术会议》|2005年|558-561|共4页
会议地点西安
作者
孙以材; 孟庆浩; 官云梅; 武建平;
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作者单位

中国电子学会;

中国航空学会;

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体技术;
关键词
半导体; TCR; 电阻率分布; 规范化多项式拟合; 非线性函数; 单晶硅;

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